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深冷法空氣分離原理以空氣為原料，經過壓縮、凈化、用熱交換使空氣液化成為液空。液空主要是液氧和液氮的混合物，利用液氧和液氮的沸點不同，通過精餾，使它們分離來獲得氮氣和氧氣。

壓縮空氣經空氣凈化系統除去油、水、塵埃等雜質后進入裝有沸石分子篩的吸附塔，空氣中的氮氣、二氧化碳、水蒸汽等被分子篩大量吸附，而氧氣由于擴散速率大而穿過吸附劑，而實現氧、氮分離。

當吸附塔內吸附的氮等雜質達到飽和后，降低壓力使沸石分子篩解吸再生，得以重復循環使用。

采用兩個吸附塔在PLC的控制下循環工作，連續產出高品質的氧氣。

在一定溫度下，低純度氮氣中的殘氧與碳載催化劑提供的碳發生氧化反應；C﹢O2=CO2生成的CO2經變壓吸附工藝去除及深度脫水，得到高純度氮氣。